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NEE-4000(M)電子束蒸發(fā)系統(tǒng):NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置,樣品臺(tái)位于主腔體,二級(jí)腔體則用于安置電子束源。兩個(gè)腔體之間的門閥可以作為預(yù)真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,實(shí)現(xiàn)基片通過(guò)主腔體放入基片到樣平臺(tái)(或夾具)上或從中取出。自動(dòng)裝/卸載基片可通過(guò)第三方的預(yù)真空鎖實(shí)現(xiàn)。通過(guò)PC計(jì)算機(jī)控制,系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力,以及對(duì)組分或組分梯度進(jìn)行編程的能力。