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NTE-3500Thermal Evaporator熱蒸發(fā)系統(tǒng):提供NTE-4000和NTE-3000型號的PC計算機控制的熱蒸發(fā)系統(tǒng),可沉積有機物和金屬。設(shè)備具有小占地面積、干凈、均勻、可控及可重復(fù)的工藝過程、低價格, 高性能以及高能力的特點??梢栽谠O(shè)定的RMS電流下,或者在閉環(huán)的配置下操作,并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調(diào)節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度。
NEE-4000E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng): NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置,其中樣品臺位于主腔體內(nèi),二級腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間帶有門閥作為預(yù)真空鎖,使電子束源腔體保持真空的情況下,通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時,可以通過第三方的預(yù)真空鎖來實現(xiàn)。通過PC計算機控制,系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力,以及對組分或組分梯度進行編程
NTE-3500(M)熱蒸發(fā)系統(tǒng):NTE-3500是PC控制的緊湊型立式熱蒸發(fā)系統(tǒng),在有機物和金屬沉積方面具有廣泛的應(yīng)用。設(shè)備具有占地面積小、干凈、均勻、可控及可重復(fù)的工藝特點。具有低價格, 高性能以及高能力的特點,可滿足于客戶研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)的應(yīng)用要求,該系統(tǒng)可以在設(shè)定的RMS電流下,或者在閉環(huán)的配置下操作,并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調(diào)節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度。
NTE-3500(A)全自動熱蒸發(fā)系統(tǒng):全自動立式熱蒸發(fā)系統(tǒng),在有機物和金屬沉積方面具有廣泛的應(yīng)用。設(shè)備具有占地面積小、干凈、均勻、可控及可重復(fù)的工藝特點。具有低價格, 高性能以及高能力的特點,可滿足于客戶研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)的應(yīng)用要求,該系統(tǒng)可以在設(shè)定的RMS電流下,或者在閉環(huán)的配置下操作,并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調(diào)節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度。
NTE-4000(M)熱蒸發(fā)系統(tǒng):NTE-4000是PC控制的立式熱蒸發(fā)系統(tǒng),在有機物和金屬沉積方面具有廣泛的應(yīng)用。設(shè)備具有占地面積小、干凈、均勻、可控及可重復(fù)的工藝特點。具有低價格, 高性能以及高能力的特點,可滿足于客戶研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)的應(yīng)用要求,該系統(tǒng)可以在設(shè)定的RMS電流下,或者在閉環(huán)的配置下操作,并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調(diào)節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度。