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兆聲晶圓清洗機(jī): First-Nano 兆聲單晶圓及掩模版清洗機(jī)提供高可重復(fù)性、高均勻性及*進(jìn)的兆聲清洗。它可以在一個(gè)工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學(xué)試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。