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光刻曝光分析儀

簡(jiǎn)要描述:45年來(lái),OAI始終是紫外能量測(cè)試儀器領(lǐng)域的*應(yīng)用商,其儀器用于半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)、晶圓封裝和晶圓植球行業(yè)中光刻工藝的可靠,精確校準(zhǔn)控制。

Model 659是一款手持式紫外功率計(jì),配有觸摸屏和 USB 接口。通過(guò)使用特殊探頭(365nm、400nm、420nm 和 436nm),可以測(cè)量主要用于步進(jìn)應(yīng)用的寬范圍波長(zhǎng)。

產(chǎn)品型號(hào): Model 659

所屬分類(lèi):紫外掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光系統(tǒng)

更新時(shí)間:2024-02-23

廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家

詳情介紹

45年來(lái),OAI始終是紫外能量測(cè)試儀器領(lǐng)域的*應(yīng)用商,其儀器用于半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)、晶圓封裝和晶圓植球行業(yè)中光刻工藝的可靠,精確校準(zhǔn)控制。

Model 659是款手持式紫外功率計(jì),配有觸摸屏和 USB 接口。通過(guò)使用特殊探頭(365nm、400nm、420nm 和 436nm),可以測(cè)量主要用于步進(jìn)應(yīng)用的寬范圍波長(zhǎng)。


             ●  多達(dá)400個(gè)曝光參數(shù)

             ●  以太網(wǎng)和USB接口,用于下載記錄的測(cè)量值

             ●  強(qiáng)度范圍達(dá)7500mW/cm2

             ●  強(qiáng)度分辨率:0.01mW/cm2

             ●  探頭波長(zhǎng):365nm、400nm、420nm、436nm



Model 659 型曝光分析儀,與晶圓步進(jìn)光刻機(jī)配合使用,專(zhuān)為Ultratech Stepper等高強(qiáng)度光刻設(shè)備而設(shè)計(jì)(讀數(shù)高達(dá)7500mW/cm2,1000000mJ/cm2'',最長(zhǎng)9999秒)??蛇x擇探頭光譜響應(yīng):365nm、400nm、420nm或436nm.


OAI_Model_659-Meter

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        OAI擁有完整的認(rèn)證校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室,以確保儀器的性能,質(zhì)量,和可靠性。Model 659 可追溯至NIST標(biāo)準(zhǔn)。

        


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