快速退火爐

簡(jiǎn)要描述：AS-One系統(tǒng)有兩種型號(hào)： AS-One 100 系統(tǒng)或AS-One 150 系統(tǒng)
該快速退火爐是專門為滿足大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和小規(guī)模生產(chǎn)的需求而研制的，高可靠且性價(jià)比高。

該工藝室采用貝殼式設(shè)計(jì)，可*進(jìn)入底板，方便裝載和卸載基板，并允許實(shí)際清潔腔體

快速數(shù)字PID溫度控制器在整個(gè)溫度范圍內(nèi)提供精確和可重復(fù)的熱控制。

產(chǎn)品型號(hào)： AS-One systems

所屬分類：快速退火爐

更新時(shí)間：2019-03-05

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

AS-One系統(tǒng)有兩種型號(hào)： AS-One 100 系統(tǒng)或AS-One 150 系統(tǒng)

該快速退火爐是專門為滿足大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和小規(guī)模生產(chǎn)的需求而研制的，高可靠且性價(jià)比高。

該工藝室采用貝殼式設(shè)計(jì)，可*進(jìn)入底板，方便裝載和卸載基板，并允許實(shí)際清潔腔體

快速數(shù)字PID溫度控制器在整個(gè)溫度范圍內(nèi)提供精確和可重復(fù)的熱控制。

特征：
基本尺寸：	Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors
工藝腔體	運(yùn)用不銹鋼冷腔室壁技術(shù)
溫度范圍	標(biāo)準(zhǔn)配置：高達(dá)到1250°C 高溫配置：高達(dá)到1450°C
溫度控制	標(biāo)準(zhǔn)配置：熱電偶和高溫計(jì)用來測(cè)量溫度快速數(shù)字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復(fù)的熱控制
真空和氣體	多可達(dá)5路帶MFC的工藝氣體，一路清潔氣體
電腦控制	全PC電腦控制，每個(gè)配方多100步驟全數(shù)據(jù)記錄與處理歷史的人機(jī)界面設(shè)計(jì)
選項(xiàng)：
石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統(tǒng)/其他套件
應(yīng)用