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簡要描述:美國NXQ以的性能,經(jīng)濟的價格,深受用戶喜愛,截至2016年底,超過5000臺NXQ曝光系統(tǒng)遍布*科研實驗室,研發(fā)中心。
產(chǎn)品型號: NXQ4000
所屬分類:紫外掩膜對準曝光系統(tǒng)
更新時間:2019-01-18
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
美國NXQ以的性能,經(jīng)濟的價格,深受用戶喜愛,截至2016年底,超過5000臺NXQ曝光系統(tǒng)遍布*科研實驗室,研發(fā)中心。
NXQ4000系列半自動掩膜對準曝光系統(tǒng),融合了獨立的模塊化設(shè)計,精準控制對準和曝光等特點,自動程序控制使得該系統(tǒng)易于操作存儲和使用,適合實驗室多用戶使用。
該系統(tǒng)特點:
鍥型誤差補償系統(tǒng)----*的WEC設(shè)計
紫外燈源的多樣性選擇
曝光光路的精準控制
視像分辨技術(shù)------在Video View Microscope 和Quadcam Microscope中快速切換
高效對準控制-----可選配IR或OBS雙面對準
使用領(lǐng)域(包括但不限于下述領(lǐng)域的光刻工藝)