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Tergeo-plus 等離子清洗機

簡要描述:PIE 代表 Plasma ,Ion ,Electron
PIE 專業(yè)致力于等離子刻蝕,清洗,表面處理和離子,電子束產品的應用。
PIE INC 成立于等離子研究小組在勞倫斯伯克利國家實驗室。經(jīng)過15年在硅谷研究經(jīng)驗,我們的SmartClean™ *進的技術已經(jīng)被世界上著名大學,研究所,實驗室使用

產品型號: Tergeo-plus

所屬分類:Tergeo-plus 等離子清洗機

更新時間:2019-01-14

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

Tergeo-plus 等離子清洗機

Large chamber tabletop plasma cleaner for R&D, low to mid volume production.

特    征:  

  • 清洗方式:沉浸式等離子清洗可以高速刻蝕和表面改性;遠程等離子體可以輕微的清除表面污染,如SEM、TEM樣品清洗;脈沖放電后產生等離子體的平均功率小于0.5watt,可以處理極精致樣品。            
  • 操作方法:自動配方執(zhí)行;自動作業(yè)順序執(zhí)行;亦可手動操作。            
  • 等離子傳感器:雙等離子強度傳感器(申請中)監(jiān)測現(xiàn)場等離子源和遠程等離子源。等離子強度實時顯示在LCD觸摸屏上。            
  • *進工藝控制能力:壓力傳感器、溫度傳感器、MFC氣體流量計、雙等離子強度傳感器、自動阻抗匹配。            
  • 腔體材料:鋁法蘭,石英腔體
  • 石英腔體尺寸:內徑:160mm;外徑170mm;深度280mm            
  • 樣品架:2mm厚高純度石英板            
  • 射頻天線:外部射頻電極和天線設計減少了內部金屬電極在等離子清洗機中發(fā)現(xiàn)的金屬濺射問題。            
  • 射頻功率:13.56mhz高頻射頻電源,自動原位等離子體源的阻抗匹配。射頻功率有兩種選擇:0-75watt和0-150watt。13.56MHz的射頻電源產生比兆聲電源產生高濃度等離子體。            
  • 工藝氣路:高達三個質量流量控制氣體輸入(0 ~ 100sccm)。一個額外的排氣口。¼英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。            
  • 用戶界面:7寸電阻式觸摸屏,觸摸的手指,沒有手寫筆的要求。            
  • 軟件:總共20個可定制的配方。每個工藝步驟多達三個清理步驟。

典型的應用:  

  • 引線鍵合倒裝芯片底部填充,器件的封裝和解封            
  • 光刻膠灰化、除渣、硅片清洗            
  • PDMS/微流控/載玻片/芯片實驗
  • 去除的掃描電鏡/電鏡樣品上碳氫污染物
  • 改善金屬與金屬或復合材料的結合           
  • 改善塑料、聚合物和復合材料的粘接


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