Harrick高功率擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述：Harrick高功率擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)是一款多功能的工具，適用于刻蝕有機(jī)薄膜（10--100nm）以及表面活化改性。

產(chǎn)品型號(hào)： PDC-002-HP

所屬分類：擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)

更新時(shí)間：2024-06-17

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

　　Harrick Plasma 高功率擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)

　　與擴(kuò)展型一樣具有雙倍的清洗速率，高功率擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)是一款多功能的工具，適用于刻蝕有機(jī)薄膜(10--100nm)以及表面活化改性。

　　Harrick PDC-HP高功率擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)

　　PDC-001-HP (115V); PDC-002-HP (230V)

　　主要特點(diǎn)：

　　緊湊臺(tái)式設(shè)備、沒(méi)有RF放射、符合CE安全標(biāo)準(zhǔn)。

　　功率為低、中、高三檔可調(diào)。

　　低檔功率相當(dāng)于PDC-2 擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)的高檔功率設(shè)置

　　清洗腔：長(zhǎng)6.5英寸，直徑6英寸的耐熱玻璃腔體 , 腔蓋可拆卸

　　帶有視窗的鉸鏈門(mén)

　　自動(dòng)風(fēng)扇冷卻

　　集成真空泵開(kāi)關(guān)

　　1/8NPT針孔閥控制氣流及腔體壓力；

　　整機(jī)尺寸：11英寸H × 18英寸W × 9英寸D；

　　重量：37 lbs；

　　選配件

　　石英等離子清洗腔；

　　氣體流量混合器；

　　真空泵；

　　參考客戶：

　　蘭州大學(xué) 鄭州大學(xué) 上海交通大學(xué) 上海復(fù)旦大學(xué) 合肥工業(yè)大學(xué) 成都電子科技大學(xué) 北京大學(xué) 清華大學(xué)醫(yī)工所蘭州化物所中科院納米所等等

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